产品优势：
可配置8腔体、12腔体和16腔体，单Chamber占地面积更小
具有双面清洗能力，可配置多种化学液：
DHF,SC1,SC2,DIO3,H2SO4,IPA,DSP,ST250,EKC等
完全自主国产化设备，搭配芯源高速自研机械手
SC1/SC2在线及时混合DMS，可使用多种浓度配比
液体流量一键设定，闭环反馈自动调节
Chamber自动清洗，减少PM时间
