宗润福先生

1964年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，电气工程工业自动化专业，二级研究员，享受国务院政府特殊津贴，曾获得国家科技重大专项突出贡献奖、全国五一劳动奖章、辽宁省优秀新产品奖励一等奖、辽宁省科学技术奖励二等奖、辽宁省优秀专家、第六届全国专业技术人才先进集体奖等多项殊荣。宗润福先生自1988年5月至1993年9月，先后担任中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部工程师、造价组组长；1993年10月至1995年9月，担任控制工程部副组长；1995年10月至1999年2月，担任中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部主任；1999年3月至2002年11月，担任中国科学院沈阳自动化研究所科技处处长、室主任；2002年12月至2019年3月，任芯源有限总经理、董事、董事长；自2019年3月至今，任公司董事长兼总裁（总经理）。

顾永田先生

1981年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，车辆工程专业，中级工程师。2008年6月至2015年6月，于三一集团有限公司担任制造部长助理、研究所长、商务部长；2015年7月至2019年3月，历任芯源有限产品实现部部长、部门总监；2017年7月至2019年3月，担任芯源有限副总经理；2019年3月至今，担任公司副总裁。

汪明波女士

1982年生，中国国籍，无境外永久居留权，硕士研究生学历。历任沈阳芯源微电子设备股份有限公司高端封装事业部部长，市场发展部总监，光刻事业部总经理；现任沈阳芯源微电子设备股份有限公司光刻事业部总经理；2021年4月至今，担任公司副总裁。

崔晓微女士

1985年生，中国国籍，无境外永久居留权，硕士研究生学历。历任沈阳芯源微电子设备股份有限公司总经理秘书、科技管理部副部长、综合资源部部长、公共资源部总监、总裁助理。2021年4月至今担任公司副总裁；2022年11月至今，担任上海芯源微企业发展有限公司法定代表人、执行董事、财务负责人。

张新超先生

1981年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，高级会计师、注册会计师、FCCA。2004年起至2011年6月，于东软集团历任行业管理会计、开发成本会计主管、高级财务分析师、高级财务经理；2011年6月至2013年7月任东软熙康财务与经营部部长，2013年7月至2015年6月，任沈阳机床财务控制部部长；2015年6月至2016年5月任神州高铁财经管理部部长；2016年6月至2020年12月任美行科技财务总监。2021年1月至今，担任沈阳芯源微电子设备股份有限公司计划财务部部长、财务总监。

程虎先生

1988年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，机械工程及自动化专业，高级工程师，曾荣获辽宁省科学技术一等奖、辽宁省科学技术二等奖、第六届全国专业技术人才先进集体奖等奖项。2012年6月至2022年5月，历任公司机械工程师、部长助理、产品设计部副部长、前道事业部常务副总经理、研发中心主任、高产能涂胶显影设备突击队主任；2022年5月至2023年5月，担任公司前道设计部总监，2023年6月至今，担任公司副总裁。

赵乃霞女士

1968年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，微特电机及控制电器专业，正高级工程师，曾荣获辽宁省科学技术进步奖一等奖、辽宁省优秀新产品二等奖，第六届全国专业技术人才先进集体奖等奖项。2005年11月至2022年5月，历任公司电控工程师、控制系统部副部长、前道事业部副总经理、控制系统部部长；2022年5月至今，担任公司控制系统部总监，是公司核心技术人员，2025年3月10日至今，担任公司副总裁。

刘书杰先生

1990年12月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，经济学硕士。2015年7月至2020年11月，于国信证券股份有限公司从事投资银行业务，保荐代表人；2020年11月至2021年11月，于平安证券股份有限公司从事投资银行业务，保荐代表人；2021年11月至今，担任公司证券投资部总监、证券事务代表，2023年6月至今，担任公司董事会秘书。