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KS-FT200/300
前道8/12寸涂胶显影机

KS-FT200/300系列堆叠式高产能前道涂胶显影机,为我司自主研发的突破晶圆前道28nm工艺节点及以上工艺制程,适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC,SOC,SOD,SOG等多种材料涂覆显影工艺的高端机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台为国内首创产品,通过各种行业认证,占地面积小、可靠性高、易于维护,满足各种功能芯片制程需求。
产品优势:
  • 1. 堆叠式高产能架构,占地面积小

    2. 可与光刻机联机,满足工厂自动化需求

    3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统,有效节省光刻胶的用量

    4. 选配高精度热板、WEE、AOI等单元部件,满足更高标准工艺需求

    5. 核心单元模块化设计,组合方式灵活多变,最大限度客制化

应用领域:

●逻辑电路

●CMOS射频电路

●功率器件

●MEMS系统级芯片

●闪存内存

●CIS

●驱动芯片

●OLED