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KS-S300-SP
12寸喷雾式涂胶机

KS-S300全自动喷雾式涂胶机通过超声波将光阻雾化为微小颗粒,适用于在大深宽比的图形表面以高分辨率均匀地涂敷光刻胶,可以有效覆盖沟槽的侧壁和边缘,避免沟槽堆积,节省光刻胶;同时针对轻薄易碎的衬底,承片台静态喷雾式涂胶可以避免衬底在高速旋转时碎裂的风险。产品可应用于高端封装、微机电系统制造等领域。该产品已通过SEMI S2认证。
产品优势:
  • 1. 旋流式锥形雾化可均匀覆盖台阶边缘

    2. 旋转加热式承片台有效节省光刻胶

    3. 承片台静态喷涂规避轻薄衬底碎片风险

    4. 喷嘴具备内外自动清洗功能

应用领域:

●高端封装 

●OLED领域

●MEMS